型號：XPT  800

適用范圍：PVD工.模具鍍膜

產品別名：多弧離子鍍膜機

電鍍電源：直流.脈沖電源

電鍍位置：耐磨涂層

鍍膜種類：離子金、離子銀、氮化鈦膜、碳化鈦膜、氮化鉻鋁膜、氮化鋯膜、鈦鋁合金膜、氮化鉻等超硬功能性金屬膜。

鍍膜原理：PVD物理沉積

腔體尺寸：單開門， 真空腔室700×700×780

真空機組：分子泵+羅茨泵+機械泵

極限真空：3.0×10^-4Pa

工件驅動：柔性傳動，主軸采用磁流體密封裝置

加熱系統：鎧裝加熱器，加熱溫度可達550℃，可鍍膜尺寸：Φ400×500mm

弧源種類：2套Φ150間冷多弧靶，電磁線圈控制磁場，靶材表面刻蝕更加均勻

偏壓電源：0-1000V

真空測量系統：皮拉尼 .冷陰極.薄膜規.壓力計

氣路系統：4路質量流量計可獨立控制

設備總功率：50KW~110KW

水冷卻系統：工業冰水機冷卻循環系統控制系統：PLC手、自動操控系統，可完成設備流程設定及數據采集記錄等各項工作。